Парофазное разложение
 | Эта статья включает список общих ссылок , но в ней отсутствуют соответствующие встроенные цитаты . ( Апрель 2021 г. ) |
Эта статья в значительной степени или полностью основана на одном источнике . ( сентябрь 2017 г. ) |
Парофазное разложение ( ПФР ) — это метод, используемый в полупроводниковой промышленности для повышения чувствительности рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения путем изменения загрязняющего вещества из тонкого слоя (имеющего зависящую от угла интенсивность флуоресценции в области TXRF) в гранулированный остаток. [1] При использовании гранулированного остатка пределы обнаружения улучшаются из-за более интенсивного сигнала флуоресценции в углах, меньших изокинетического угла.
Метод
При использовании гранулированного остатка пределы обнаружения улучшаются за счет более интенсивного сигнала флуоресценции в углах, меньших изокинетического угла. Этого можно достичь путем повышения концентрации примеси в анализируемом растворе. В стандартной атомно-абсорбционной спектроскопии (ААС) примесь растворяется вместе с матричным элементом. В ВПД поверхность пластины подвергается воздействию паров плавиковой кислоты , что приводит к растворению поверхностного оксида вместе с примесными металлами. Капли кислоты, сконденсированные на поверхности, затем анализируются с помощью ААС.
Преимущества
Метод дал хорошие результаты для обнаружения и измерения никеля и железа . Для улучшения диапазона элементарных примесей и снижения пределов обнаружения капли кислоты, полученные из кремниевых пластин, анализируются с помощью ICP-MS ( масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой ). Эта техника, VPD ICP-MS, обеспечивает точное измерение до 60 элементов и пределы обнаружения в диапазоне 1E6-E10 атомов/см2 на кремниевой пластине.
Связанные методы
Один из родственных методов — VPD-DC (разложение паровой фазы — сбор капель), где пластина сканируется каплей, которая собирает ионы металла, растворенные на этапе разложения. Эта процедура обеспечивает лучшие пределы обнаружения при применении AAS для обнаружения металлических примесей очень малых концентраций на поверхности пластин .
Ссылки
- ^ J. Wang, MK Balazs, P. Pianetta, K. Baur и S. Brennan (март 2000 г.). "Аналитические методы анализа следовых элементов на поверхности пластин для мониторинга и контроля загрязнений" (PDF) . Конференция по чистой воде и химикатам в области полупроводников .
{{cite journal}}: CS1 maint: несколько имен: список авторов ( ссылка )
 | Эта статья, связанная со спектроскопией, является заглушкой . Вы можете помочь Википедии, расширив ее. |
