Перфтордецилтрихлорсилан
 | |
| Имена | |
|---|---|
| Название ИЮПАК трихлор(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-гептадекафтордецил)силан | |
| Другие имена FDTS; Перфтордецилтрихлорсилан; Перфтороктилэтилтрихлорсилан; 1H,1H,2H,2H-ПЕРФТОРДЕЦИЛТРИХЛОРСИЛАН; ТРИХЛОР-1H,1H,2H,2H-ПЕРФТОРДЕЦИЛСИЛАН; | |
| Идентификаторы | |
| |
3D модель ( JSmol ) |
|
| ChemSpider |
|
| Информационная карта ECHA | 100.110.513 |
| Номер ЕС |
|
CID PubChem |
|
Панель инструментов CompTox ( EPA ) |
|
| |
| |
| Характеристики | |
| CF 3( CF 2) 7 ( СН 2) 2 SiCl 3 | |
| Молярная масса | 581,556 [г/моль] |
| Появление | бесцветная жидкость |
| Запах | едкий, напоминающий HCl |
| Плотность | 1,7 г/см 3 |
| Точка кипения | 224 °C (435 °F; 497 К) |
| гидролиз [1] | |
| Растворимость | растворим в ТГФ , ТГФ , толуоле и других органических растворителях [2] |
| Опасности | |
| Охрана труда и техника безопасности (OHS/OSH): | |
Основные опасности | Чувствителен к влаге |
Если не указано иное, данные приведены для материалов в стандартном состоянии (при 25 °C [77 °F], 100 кПа). | |
Перфтордецилтрихлорсилан , также известный как FDTS , представляет собой бесцветное жидкое химическое вещество с молекулярной формулой C10H4Cl3F17Si . Молекулы FDTS образуют самоорганизующиеся монослои . Они образуют ковалентные связи кремний -кислород со свободными гидроксильными ( –OH ) группами, такими как поверхности стекла, керамики или кремния .
Благодаря своей сильно фторированной хвостовой группе монослой FDTS снижает поверхностную энергию . Нанесение монослоя FDTS достигается относительно простым процессом, также известным как молекулярное осаждение из паровой фазы (MVD). Обычно он наносится из паровой фазы при комнатной или близкой к комнатной температуре (50 °C) и, таким образом, совместим с большинством субстратов. Процесс обычно проводится в вакуумной камере и сопровождается присутствием водяного пара. Обработанные поверхности обладают водоотталкивающими и снижающими трение свойствами.
По этой причине монослой FDTS часто наносится на подвижные микрочасти микроэлектромеханических систем ( MEMS ). [3] Монослой FDTS снижает поверхностную энергию и предотвращает прилипание, поэтому его используют для покрытия микро- и наноэлементов на штампах для наноимпринтной литографии , которая становится методом выбора для изготовления электроники, органических фотодиодов , микрофлюидики и т. д.
Снижение поверхностной энергии способствует снижению силы выталкивания и извлечения полимерных деталей из формы при литье под давлением , поэтому покрытие FDTS было нанесено [4] на некоторые металлические формы и вставки для литья под давлением .
Ссылки
- Шринивасан, У.; Хьюстон, М.Р.; Хоу, Р.Т.; Мабудиан, Р.; , "Самоорганизующиеся монослойные пленки на основе алкилтрихлорсилана для снижения трения в кремниевых микромашинах", Microelectromechanical Systems, Journal of , т.7, №2, стр. 252–260, июнь 1998 г. doi: 10.1109/84.679393
- Рубен Б. А. Шарп, Дирк Бурдински, Юрриан Хаскенс, Гарольд Дж. В. Зандвлиет, Дэвид Н. Рейнхоудт и Бене Пулсема, Химически узорчатые плоские штампы для микроконтактной печати, Журнал Американского химического общества, 2005 г., 127 (29), 10344-10349.
- Эшерст, В. Р., Карраро, К. и Мабудиан, Р., «Парофазные антипригарные покрытия для МЭМС», Труды IEEE по надежности устройств и материалов, т. 3, № 4, стр. 173–178, 2003 г. doi: 10.1109/TDMR.2003.821540
- ^ http://store.apolloscientific.co.uk/storage/msds/PC5979_msds.pdf [ пустой URL-адрес PDF ]
- ^ http://www.apolloscientific.co.uk/downloads/msds/PC5979_msds.pdf [ мертвая ссылка ]
- ^ Ashurst, WR (декабрь 2003 г.). «Парофазные антипригарные покрытия для MEMS». Труды IEEE по надежности устройств и материалов . 3 (4): 173– 178. doi :10.1109/TDMR.2003.821540.
- ^ Cech J, Taboryski R (2012). «Устойчивость монослойного покрытия FDTS на инструментах для литья алюминия под давлением». Applied Surface Science . 259 : 538–541 . Bibcode : 2012ApSS..259..538C. doi : 10.1016/j.apsusc.2012.07.078.
