Имена | |
---|---|
Предпочтительное название ИЮПАК Тетракис(диметиламино)титан(IV) | |
Систематическое название ИЮПАК Диметил[трис(диметиламино)титанио]амин | |
Другие имена Диметиламид титана(IV) | |
Идентификаторы | |
3D модель ( JSmol ) |
|
Сокращения | ТДМАТ |
ChemSpider | |
Информационная карта ECHA | 100.019.914 |
Номер ЕС |
|
CID PubChem |
|
Номер ООН | 2924 3398 |
Панель инструментов CompTox ( EPA ) |
|
| |
| |
Характеристики | |
С8Н24Н4Ти | |
Молярная масса | 224,19 г/моль |
Появление | желтая жидкость |
Плотность | 0,947 г/см 3 |
Точка кипения | 50 °C (122 °F; 323 K) при 0,05 мм рт. ст. |
реагирует с водой | |
Опасности | |
Маркировка СГС : [1] | |
Опасность | |
Н225 , Н260 , Н314 | |
Р210 , Р223 , Р231+Р232 , Р280 , Р303+Р361+Р353 , Р305+Р351+Р338 | |
NFPA 704 (огненный алмаз) | |
Если не указано иное, данные приведены для материалов в стандартном состоянии (при 25 °C [77 °F], 100 кПа). |
Тетракис(диметиламино)титан (TDMAT), также известный как диметиламид титана(IV) , является химическим соединением . Соединение обычно классифицируется как металлоорганический вид, что означает, что его свойства сильно зависят от органических лигандов, но в соединении отсутствуют связи металл-углерод. Он используется в химическом осаждении из паровой фазы для подготовки поверхностей нитрида титана (TiN) и в осаждении атомных слоев в качестве прекурсора диоксида титана . Префикс «тетракис» относится к присутствию четырех одинаковых лигандов , в данном случае диметиламидов.
Тетракис(диметиламино)титан является обычным соединением Ti(IV) в том смысле, что он тетраэдрический и диамагнитный. В отличие от многих алкоксидов , диорганоамиды титана являются мономерными и, таким образом, по крайней мере, несколько летучими. Его получают из тетрахлорида титана (который также тетраэдрический, диамагнитный и летучий) путем обработки диметиламидом лития: [2]
Как и многие амидокомплексы, TDMAT весьма чувствителен к воде, и его обработка требует безвоздушных технологий . Конечными продуктами его гидролиза являются диоксид титана и диметиламин :
В родственной реакции соединение подвергается обмену с другими аминами, образуя диметиламин .
TMAT использовался в химическом осаждении из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD). [ необходима ссылка ]