Привод царапающего привода (SDA) представляет собой микроэлектромеханическое системное устройство, преобразующее электрическую энергию в одномерное движение. [1] [2]
Компонент привода может иметь множество форм и размеров в зависимости от используемого метода изготовления. Его можно визуализировать как «L». Меньший конец называется «втулкой».
Привод расположен на подложке, на которой сверху находится тонкий изолирующий диэлектрический слой. Между приводом и подложкой подается напряжение, и результирующий потенциал тянет корпус привода вниз. Когда это происходит, щетка немного выталкивается вперед, и энергия сохраняется в напряженном приводе. Когда напряжение снимается, привод возвращается в исходное положение, в то время как втулка остается в новом положении. Прикладывая импульсное напряжение, можно заставить SDA двигаться вперед.
Напряжение обычно подается на привод с помощью «троса». Он может состоять из жесткого разъема или рельса, по которому следует SDA. [3]
Размер SDA обычно измеряется в мкм .