This article needs attention from an expert in Engineering. The specific problem is: the article was tagged for copy editing, but to do so requires understanding and this article is too technical.WikiProject Engineering may be able to help recruit an expert.(November 2012)
Технология ионных треков занимается производством и применением ионных треков в микротехнологии и нанотехнологии . [6] Ионные треки могут быть селективно протравлены во многих изолирующих твердых телах, что приводит к образованию конусов или цилиндров диаметром до 8 нанометров. [7] Протравленные цилиндры треков могут использоваться в качестве фильтров , [8] [9] микроканалов счетчика Коултера , [10] могут быть модифицированы монослоями , [11] или заполнены гальваническим способом . [12] [13]
Технология ионного трека была разработана для заполнения определенных ниш, где традиционная нанолитография не справляется, в том числе:
Генерация удлиненных структур с пределом разрешения до 8 нанометров [7]
Прямое создание отверстий в тонких пленках без какого-либо процесса проявления [14]
Определение глубины структуры по ионному пробегу, а не по толщине мишени [15] [16]
Создание структур с соотношением сторон (глубина, деленная на ширину) до 10 4 . [2]
Формование жестких и гибких материалов под определенным углом резания [17]
Исследование области выровненных текстур с определенными углами наклона [18]
Генерация случайных узоров, состоящих из частично перекрывающихся одиночных треков [19]
Создание большого количества отдельных однопутных структур [20]
Генерация направленных узоров, состоящих из отдельных одиночных треков [21]
Материалы, восприимчивые к записи ионных треков
Класс материалов для записи ионных треков характеризуется следующими свойствами: [2]
Высокая однородность : локальные изменения плотности исходного материала должны быть небольшими по сравнению с дефицитом плотности ядра ионного трека. Оптически прозрачные материалы , такие как поликарбонат и поливинилиденфторид , обладают этим свойством. Зернистые полимеры, такие как политетрафторэтилен, не обладают этим свойством.
Высокое электрическое сопротивление : непроводящие диэлектрические минералы, стекла и полимеры обладают этим свойством, в то время как высокопроводящие металлы и сплавы не обладают этим свойством. В металлах температуропроводность связана с электропроводностью , подавляя образование теплового пика.
Высокая чувствительность к излучению : Полимеры обладают высокой чувствительностью к излучению по сравнению со стеклами и ионными кристаллами. Эффект излучения в полимерах вызван каскадом вторичных электронов, вызывающим как разрыв цепи (доминирующий в ядре трека), так и сшивание (доминирующее в гало трека).
Низкая атомная подвижность : для селективного травления ионного трека контраст плотности между скрытым ионным треком и чистым материалом должен быть высоким. Контраст исчезает из-за диффузии , в зависимости от атомной подвижности . Ионные треки могут быть отожжены. Стирание происходит быстрее в стеклах по сравнению с ионными кристаллами .
Источники альфа-частиц и деления [22] [23] обеспечивают пучки низкой интенсивности с широким угловым, массовым и энергетическим распределением. Диапазон испускаемых осколков деления ограничен примерно 15 микрометрами в полимерах. Слабыеисточники калифорния -252 или америция -241 [24] используются для научных и технологических исследований. Они компактны, недороги и безопасны в обращении.
Ускорители частиц тяжелых ионов обеспечивают параллельное облучение пучком при высокой светимости с ионами определенной массы, энергии и угла наклона. [25] [26] [27] Интенсивности доступны в широких диапазонах, даже до миллиардов ионов в секунду. В зависимости от доступной энергии могут быть получены длины треков от нескольких до нескольких сотен микрометров. Ускорители используются в микро- и нанотехнологиях . Радиоактивное загрязнение отсутствует при энергиях ионов ниже кулоновского барьера . [28]
Облучение одиночными ионами используется для изготовления отдельных микро- и наноструктур, таких как конусы, каналы, штифты и провода. [20] Для этой технологии требуется слабый ионный пучок, который можно отключить после того, как один ион проникнет в целевую фольгу.
Микропучки ионов обеспечивают наивысший уровень контроля процесса облучения. Они ограничивают выход ускорителя тяжелых ионов до небольшой нити, которую можно сканировать по поверхности образца. Скрайбирование отдельными быстрыми тяжелыми ионами возможно с точностью наведения около одного микрометра. [21]
Формирование ионных треков
Когда быстрый тяжелый ион проникает через твердое тело, он оставляет за собой след нерегулярного и измененного материала, ограниченного цилиндром диаметром в несколько нанометров. Передача энергии между тяжелым ионом- снарядом и легкими электронами-мишенями происходит в бинарных столкновениях . Выбитые первичные электроны оставляют заряженную область позади, вызывая каскад вторичных электронных столкновений, включающий все большее число электронов с уменьшающейся энергией. Этот каскад электронных столкновений останавливается, когда ионизация больше невозможна. Оставшаяся энергия приводит к возбуждению атомов и вибрации, производя ( тепло ). Из-за большого отношения масс протона к электрону энергия снаряда постепенно уменьшается, и путь снаряда становится прямым. [29] Небольшая часть переданной энергии остается в виде ионного трека в твердом теле. Диаметр ионного трека увеличивается с увеличением радиационной чувствительности материала. Для описания образования ионного трека используется несколько моделей.
Согласно модели пика ионного взрыва [30], первичная ионизация вызывает каскад атомных столкновений [31] , что приводит к образованию неупорядоченной зоны вокруг траектории иона.
Согласно модели каскада столкновений электронов , вторичные электроны вызывают эффект излучения в материале, аналогичный пространственно-ограниченному электронному облучению. [ 32] Модель каскада столкновений электронов особенно подходит для полимеров.
Согласно модели термического пика , каскад столкновений электронов отвечает за передачу энергии между ионом-снарядом и ядрами мишени. Если температура превышает температуру плавления вещества мишени, образуется жидкость. Быстрое закаливание оставляет после себя аморфное состояние с пониженной плотностью. Его беспорядок соответствует треку иона. [3] [33]
Модель термического пика. Трек иона соответствует замороженному беспорядку после быстрого закаливания зоны расплава вокруг траектории иона. Температура представлена цветом. Путь иона перпендикулярен плоскости изображения.
Скрытый ионный трек в слюде мусковит . В зависимости от тормозной способности иона-снаряда ширина трека составляет от 4 до 10 нанометров.
Порог травления трека : требуемая для селективного травления энергия. Для ионных кристаллов порог увеличивается с теплопроводностью. Аморфный металл FeBSiC включен для сравнения.
Методы травления
Селективное ионное травление
Селективное травление ионного трека [2] тесно связано с селективным травлением границ зерен и дислокаций кристаллов . Процесс травления должен быть достаточно медленным, чтобы различать облученный и исходный материал. Результирующая форма зависит от типа материала, концентрации травителя и температуры ванны для травления. В кристаллах и стеклах селективное травление происходит из-за пониженной плотности ионного трека. В полимерах селективное травление происходит из-за фрагментации полимера в ядре ионного трека. Зона ядра окружена гало трека, в котором сшивание может препятствовать травлению трека. После удаления сшитого гало трека радиус трека линейно растет со временем. Результатом селективного травления является впадина, пора или канал.
Травление, усиленное поверхностно-активным веществом, используется для изменения формы ионных треков. [34] Оно основано на самоорганизующихся монослоях . [11] Монослои полупроницаемы для сольватированных ионов травильной среды и уменьшают поверхностное воздействие. В зависимости от относительной концентрации поверхностно-активного вещества и травильной среды получаются поры ионных треков бочкообразной или цилиндрической формы. Этот метод можно использовать для увеличения соотношения сторон . [35]
Другая связанная терминология
Повторное облучение и обработка : двухэтапный процесс облучения и травления, используемый для создания перфорированных лунок.
Произвольные углы облучения вызывают анизотропию вдоль одной определенной оси симметрии.
Многоугольные каналы представляют собой взаимопроникающие сети, состоящие из двух или более канальных массивов в разных направлениях.
Двустороннее травление ионного трека при соотношении травления трека 5:1.
Асимметричные ионные трековые каналы с сильно уменьшенным верхним диаметром.
Микролунки с перфорированным дном.
Две мембраны с разным наклоном каналов (вертикальным и 45 градусов).
Три мембраны, перфорированные под двумя углами наклона (±10, ±20, ±45 градусов).
1) Сенсибилизаторы увеличивают коэффициент травления трека за счет разрыва связей или увеличения свободного объема. 2) Десенсибилизаторы уменьшают коэффициент травления трека. В качестве альтернативы ионные треки можно термически отжигать. 3) Типичный диапазон температур в травильной ванне. Скорость травления сильно увеличивается с концентрацией и температурой. 4) Осевое травление зависит от скорости травления трека v t , радиальное травление зависит от общей скорости травления v g . 5) Селективность (соотношение сторон, коэффициент травления трека) = скорость травления трека / общая скорость травления = v t / v g . 6) Этот метод требует удаления оставшихся отложений оксидов металлов водными растворами HCl.
Репликация
Протравленные ионные треки могут быть воспроизведены полимерами [37] или металлами . [12] [ 38] Реплика и шаблон могут быть использованы в качестве композита . Реплика может быть отделена от своего шаблона механически или химически. Полимерные реплики получаются путем заполнения протравленного трека жидким предшественником полимера и его отверждения . Отверждение может быть активировано катализатором , ультрафиолетовым излучением или теплом . Металлические реплики могут быть получены либо химическим осаждением , либо электроосаждением . Для репликации сквозных пор катодная пленка осаждается на одной стороне мембраны, а мембрана погружается в раствор соли металла. Катодная пленка отрицательно заряжена по отношению к аноду, который расположен на противоположной стороне мембраны. Положительные ионы металла притягиваются к катоду, где они захватывают электроны и осаждаются в виде компактной металлической пленки. В процессе электроосаждения каналы постепенно заполняются металлом, а длина нанопроводов контролируется временем осаждения. Быстрое осаждение приводит к поликристаллическим проводам, тогда как медленное осаждение приводит к монокристаллическим проводам. Свободно стоящая реплика получается путем удаления шаблона после осаждения пленки подшипника на анодной стороне мембраны.
Взаимопроникающие сети проводов изготавливаются путем электроосаждения в многоугловых, трековых мембранах. Получаются свободно стоящие трехмерные сети с настраиваемой сложностью и межпроводной связностью. [39]
Сегментированные нанопровода изготавливаются путем чередования полярности во время электроосаждения. [40] Длина сегмента регулируется длительностью импульса. Таким образом можно настраивать электрические, тепловые и оптические свойства.
Отдельно стоящая металлическая копия протравленных ионных дорожек в ПК
Геология: Ионные треки полезны, поскольку они могут оставаться неизменными в течение миллионов лет в минералах. Их плотность дает информацию о времени, когда минерал затвердел из расплава, и используются в качестве геологических часов в датировании по трекам деления
Фильтры : Гомопористые фильтры были одними из первых применений [8] технологии ионных треков, и в настоящее время их производят несколько компаний. [41] Слюдяные мембраны с порами ионных треков использовались Беком и Шульцем для определения механизма затрудненной диффузии в нанопорах. [42] [43]
Классификация микро- и наночастиц : сопротивление канала, заполненного электролитом, зависит от объема проходящей через него частицы. [10] Этот метод применяется для подсчета и определения размера отдельных эритроцитов, бактерий и вирусных частиц.
Датчик pH : Заряженные каналы, заполненные электролитом , имеют поверхностную проводимость , в дополнение к обычной объемной проводимости электролита. Ионы, прикрепленные к заряженной поверхности, притягивают облако подвижных противоионов . Фиксированные и подвижные ионы образуют двойной слой . Для небольших каналов поверхностная проводимость отвечает за большую часть переноса заряда. Для небольших каналов поверхностная проводимость превышает объемную проводимость . Отрицательные поверхностные заряды могут быть заняты прочно связанными протонами. При низком pH (высокая концентрация протонов) заряд стенки полностью нейтрализуется. Поверхностная проводимость исчезает. Из-за зависимости поверхностной проводимости от pH канал становится датчиком pH. [44]
Поры, выпрямляющие ток : асимметричные поры получаются путем одностороннего травления. Геометрическая асимметрия преобразуется в асимметрию проводимости. Это явление похоже на электрический клапан. Пора имеет два характерных состояния проводимости: открытое и закрытое. Выше определенного напряжения клапан открывается. Ниже определенного напряжения клапан закрывается. [45] [46]
Биосенсор : химическая модификация стенки канала изменяет ее взаимодействие с проходящими частицами. Различные покрытия стенки связываются с определенными молекулами и задерживают их прохождение. В этом смысле стенка распознает проходящую частицу. Например, фрагменты ДНК избирательно связываются своими комплементарными фрагментами. Прикрепленные молекулы уменьшают объем канала. Вызванное изменение сопротивления отражает концентрацию молекулы. [48]
Анизотропная проводимость : платформа, покрытая множеством свободно стоящих проводов, действует как полевой излучатель большой площади. [49]
Магнитные многослойные материалы : нанопровода, состоящие из чередующихся магнитных/немагнитных слоев, действуют как магнитные датчики. Например, нанопровода кобальт/медь получают из электролита, содержащего оба металла. При низком напряжении осаждается чистая медь, в то время как кобальт сопротивляется электроосаждению. При высоком напряжении оба металла осаждаются в виде сплава. Если электролит содержит преимущественно кобальт, осаждается магнитный сплав кобальта и меди с высокой долей кобальта. Электропроводность многослойного провода зависит от приложенного внешнего магнитного поля. Магнитный порядок слоев кобальта увеличивается с приложенным полем. Без магнитного поля соседние магнитные слои предпочитают антипараллельный порядок. С магнитным полем магнитные слои предпочитают ориентацию, параллельную магнитному полю. Параллельная ориентация соответствует уменьшенному электрическому сопротивлению. Эффект используется в считывающих головках магнитных носителей информации («эффект GMR»). [50]
Спинтроника : структура спинового клапана состоит из двух магнитных слоев разной толщины. Толстый слой имеет более высокую магнитную стабильность и используется как поляризатор. Тонкий слой действует как анализатор. В зависимости от направления его намагничивания по отношению к поляризатору (параллельно или антипараллельно), его проводимость низкая или высокая соответственно. [51]
Текстуры : Наклонные текстуры с гидрофобным покрытием одновременно являются супергидрофобными и анизотропными, [18] и показывают предпочтительное направление транспорта. Было продемонстрировано, что эффект преобразует вибрацию в трансляцию. [52]
Канал прохождения частиц . Переходное падение тока пропорционально объему частицы.
Датчик pH : Движущийся круг представляет собой поперечное сечение отрицательно заряженного канала. Слева: при низком pH все поверхностные заряды заняты протонами (низкая проводимость). Справа: при высоком pH все поверхностные заряды доступны (высокая проводимость).
Асимметричная пора пропускает положительные ионы преимущественно справа налево.
Термочувствительный канал . Канал, покрытый гидрогелем, открывается выше и закрывается ниже критической температуры гидрогеля.
Биоспецифический датчик . Электрическое сопротивление канала, покрытого иммунореагентом, зависит от концентрации конкретной молекулы.
Массив полевых эмиттеров
Многослойный магнитодатчик . Слабое магнитное поле : антипараллельная ориентация и высокое сопротивление. Сильное магнитное поле : параллельная ориентация и низкое сопротивление.
Спиновый анализатор Потеря энергии спин-поляризованных электронов зависит от магнитной ориентации анализатора. Слева: поляризатор (синий: спин вверх). Справа: анализатор (синий: спин вверх; красный: спин вниз).
Наклонная текстура пути с асимметричными транспортными свойствами.
Примечания
^ DA Young (1958). «Травление радиационных повреждений во фториде лития». Nature . 182 (4632): 375–377. Bibcode :1958Natur.182..375Y. doi :10.1038/182375a0. PMID 13577844. S2CID 4282512.
^ ab F. Seitz; JS Koehler (1956). F. Seitz; D. Turnbull (ред.). "Физика твердого тела" . Academic Press : 307. LCCN 55012299.{{cite journal}}: Цитировать журнал требует |journal=( помощь )
^ M. Toulemonde; C. Dufour; A. Meftah; E. Paumier (2000). «Переходные тепловые процессы при облучении кристаллических неорганических изоляторов тяжелыми ионами». Nuclear Instruments and Methods B. 166–167: 903–912. Bibcode :2000NIMPB.166..903T. doi :10.1016/S0168-583X(99)00799-5.
^ G. Remmert; Y. Eyal; BE Fischer; R. Spohr (1995). «Газопроницаемость и поперечное сечение скрытых ионных треков в полимерах». Nuclear Instruments and Methods B. 105 ( 1–4): 197–199. Bibcode :1995NIMPB.105..197R. doi :10.1016/0168-583X(95)00576-5.
^ Р. Шпор (1990). Ионные треки и микротехнология. Посмотреть Верлаг . ISBN978-3-528-06330-6. Архивировано из оригинала 2011-09-16 . Получено 2011-09-18 .
^ ab WD Williams; N. Giordano (1984). «Изготовление металлических проводов диаметром 80 Å». Review of Scientific Instruments . 55 (3): 410–412. Bibcode : 1984RScI...55..410W. doi : 10.1063/1.1137752.
^ ab RL Fleischer; PB Price; RM Walker (1963). «Метод формирования мелких отверстий почти атомных размеров». Review of Scientific Instruments . 34 (5): 510–512. Bibcode : 1963RScI...34..510F. doi : 10.1063/1.1718419.
^ ab RW DeBlois; CP Bean (1970). «Подсчет и определение размеров субмикронных частиц методом резистивного импульса». Review of Scientific Instruments . 41 (7): 909–916. Bibcode : 1970RScI...41..909D. doi : 10.1063/1.1684724.
^ ab WJ Petzny; JA Quinn (1969). «Калиброванные мембраны с покрытыми стенками пор». Science . 166 (3906): 751–753. Bibcode :1969Sci...166..751P. doi :10.1126/science.166.3906.751. PMID 5823313. S2CID 1807195.
^ ab GE Possin (1970). "Метод формирования проводов очень малого диаметра". Review of Scientific Instruments . 41 (5): 772–774. Bibcode : 1970RScI...41..772P. doi : 10.1063/1.1684640.
^ Y. Eyal; K. Gassan (1999). «Наблюдение скрытых треков тяжелых ионов в полиимиде с помощью просвечивающей электронной микроскопии». Ядерные приборы и методы в физических исследованиях B. 156 ( 1–4): 183–190. Bibcode :1999NIMPB.156..183E. doi :10.1016/S0168-583X(99)00269-4.
^ JF Ziegler (1980). Справочник по сечениям торможения для энергичных ионов во всех элементах . Pergamon Press . ISBN978-0080216072.
^ "Остановка и расчет дальности". Srim.org . Получено 21.01.2013 .
^ M. Lindeberg; K. Hjort (2004). «Комплексное исследование ионного трека позволило создать микроструктуры с высоким соотношением сторон в гибких печатных платах». Microsystem Technologies . 10 (8–9): 608–621. doi :10.1007/s00542-003-0339-2. S2CID 109327888.
^ ab R. Spohr; G. Sharma; P. Forsberg; M. Karlsson; A. Hallén; L. Westerberg (2010). "Асимметрия хода наклонных супергидрофобных текстур ионных треков". Langmuir . 26 (9): 6790–6796. doi :10.1021/la904137t. PMID 20085343.
^ C. Riedel; R. Spohr (1980). «Свойства пропускания ядерных трековых фильтров». Журнал мембранной науки . 7 (2): 225–234. doi :10.1016/S0376-7388(00)80083-6.
^ ab R. Spohr; C. Zet; BE Fischer; H. Kiesewetter; P. Apel; I. Gunko; L. Westerberg (2010). «Управляемое изготовление нанопроводов и каналов с ионными треками». Ядерные приборы и методы в исследованиях физики B . 268 (6): 676–686. Bibcode :2010NIMPB.268..676S. doi :10.1016/j.nimb.2009.12.017. hdl : 10069/32233 .
^ RL Fleischer; PB Price; RM Walker (1965). «Механизм ионного взрыва для образования треков заряженных частиц в твердых телах». Журнал прикладной физики . 36 (11): 3645–3652. Bibcode : 1965JAP....36.3645F. doi : 10.1063/1.1703059.)
^ К. Нордлунд, М. Гали, Р. С. Авербак, М. Катурла, Т. Диас де ла Рубиа, Дж. Тарус (1998). «Производство дефектов в каскадах столкновений в элементарных полупроводниках и ГЦК-металлах». Физический обзор B . 57 (13): 7556. Бибкод : 1998PhRvB..57.7556N. doi : 10.1103/PhysRevB.57.7556.{{cite journal}}: CS1 maint: multiple names: authors list (link))
^ Р. Кац (1978). «Теория структуры трека в радиобиологии и обнаружении радиации». Ядерное обнаружение треков . 2 (1): 1–28. doi :10.1016/0145-224X(78)90002-9.
^ M. Toulemonde; C. Dufour; A. Meftah; E. Paumier (2000). «Переходные тепловые процессы при облучении кристаллических неорганических изоляторов тяжелыми ионами». Nuclear Instruments and Methods B. 166–167: 903–912. Bibcode :2000NIMPB.166..903T. doi :10.1016/S0168-583X(99)00799-5.
^ PYApel, IV Blonskaya, AY Didyk, SN Дмитриев, OL Orelovitch, D. Root, LI Samoilova, VA Vutsadakis (2001). "Surfactant-enhanced control of track-etch pore morphology". Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B. 179 ( 1): 55–62. Bibcode :2001NIMPB.179...55A. doi :10.1016/S0168-583X(00)00691-1.{{cite journal}}: CS1 maint: multiple names: authors list (link)
^ LCT Man; P. Apel; T. Cheung; L. Westerberg; KN Yu; C. Zet; R. Spohr (2007). «Влияние поверхностно-активного вещества на травление одиночных ионным треков. Подготовка и манипулирование отдельными цилиндрическими микропроводами». Ядерные приборы и методы в физических исследованиях, раздел B. 265 ( 2): 621–625. Bibcode : 2007NIMPB.265..621M. doi : 10.1016/j.nimb.2007.09.029.
^ "P. Apel, R. Spohr: Введение в ионное трековое травление в полимерах". Ion-tracks.de. Архивировано из оригинала 2012-04-26 . Получено 2013-01-21 .
^ PB Price; GM Comstock; RL Fleischer; WR Giard; HR Hart; GE Nichols (1971). «Тропы космических лучей в пластике: эксперимент по дозиметрии шлема Apollo». Science . 172 (3979): 154–157. Bibcode :1971Sci...172..154C. doi :10.1126/science.172.3979.154. PMID 17735223. S2CID 13108585.
^ M. Rauber; I. Alber; S. Müller; R. Neumann; O. Picht; C. Roth; A. Schöckel; ME Toimil-Molares; W. Ensinger (2011). «Высокоупорядоченные безопорные трехмерные нанопроволочные сети с настраиваемой сложностью и межпроводной связью для интеграции устройств». Nano Letters . 11 (6): 2304–2310. Bibcode : 2011NanoL..11.2304R. doi : 10.1021/nl2005516. PMID 21608990.
^ M. Rauber; J. Brötz; J. Duan; J. Liu; S. Müller; R. Neumann; O. Picht; ME Toimil-Molares; W. Ensinger (2010). «Сегментированные полностью платиновые нанопроволоки с контролируемой морфологией посредством манипулирования локальным распределением электролита в жидкостных наноканалах во время электроосаждения». Журнал физической химии C. 114 ( 51): 22502–22507. doi :10.1021/jp108889c.
^ Бек, RE; Шульц, JS (1970-12-18). «Затрудненная диффузия в микропористых мембранах с известной геометрией пор». Science . 170 (3964): 1302–1305. Bibcode :1970Sci...170.1302B. doi :10.1126/science.170.3964.1302. ISSN 0036-8075. PMID 17829429. S2CID 43124555.
^ Бек, Роберт Э.; Шульц, Джером С. (январь 1972 г.). «Препятствие диффузии растворенных веществ внутри мембран, измеренное с помощью микропористых мембран с известной геометрией пор». Biochimica et Biophysica Acta (BBA) - Биомембраны . 255 (1): 273–303. doi :10.1016/0005-2736(72)90028-4. hdl : 2027.42/34175 . PMID 4334681.
^ A. Wolf; N. Reber; P. Yu. Apel; BE Fischer; R. Spohr (1995). "Перенос электролитов в заряженных капиллярах с одиночными ионными дорожками". Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 105 ( 1–4): 291–293. Bibcode :1995NIMPB.105..291W. doi :10.1016/0168-583X(95)00577-3.
^ PY Apel, YE Korchev, Z. Siwy, Z.; R. Spohr, M. Yoshida (2001). «Диодоподобная одноионная трековая мембрана, приготовленная с помощью электроторможения». Ядерные приборы и методы в исследованиях физики B. 184 ( 3): 337–346. Bibcode : 2001NIMPB.184..337A. doi : 10.1016/S0168-583X(01)00722-4.{{cite journal}}: CS1 maint: multiple names: authors list (link)
^ P. Ramirez; P.Yu. Apel; J. Cervera; S. Mafe (2008). "Структура пор и функция синтетических нанопор с фиксированными зарядами: форма кончика и свойства выпрямления". Нанотехнология . 19 (31): 315707. Bibcode : 2008Nanot..19E5707R. doi : 10.1088/0957-4484/19/31/315707. PMID 21828799. S2CID 43193256.
^ M. Tamada; M. Yoshida; M. Asano; H. Omichi; R. Katakai; R. Spohr; J. Vetter (1992). "Термоотклик пор ионных треков в сополимерных пленках метакрилоил-L-аланинметилэфира и диэтиленгликоль-бис-аллилкарбоната (CR-39)". Polymer . 33 (15): 3169–3172. doi :10.1016/0032-3861(92)90230-T.
^ LT Sexton; LP Horne; CR Martin (2007). «Разработка синтетических конических нанопор для биосенсорных приложений». Molecular BioSystems . 3 (10): 667–685. doi :10.1039/b708725j. PMID 17882330.
^ F. Maurer; A. Dangwal; D. Lysenkov; G. Müller; ME Toimil-Molares; C. Trautmann; J. Brötz; H. Fuess (2006). «Полевая эмиссия медных нанопроводов, выращенных в полимерных ионно-трековых мембранах». Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 245 ( 1): 337–341. Bibcode :2006NIMPB.245..337M. doi :10.1016/j.nimb.2005.11.124.
^ Л. Пиро; Дж. М. Джордж; Ж. Ф. Депре; К. Лерой; Э. Ферейн; Р. Легра; К. Унаджела; А. Ферт (1994). «Гигантское магнитосопротивление в магнитных многослойных нанонитях». Письма по прикладной физике . 65 (19): 2484–2486. Бибкод : 1994ApPhL..65.2484P. дои : 10.1063/1.112672.
^ B. Doudin; JP Ansermet (1997). «Наноструктурные материалы для спиновой электроники». Europhysics News . 28 (1): 14–17. Bibcode : 1997ENews..28...14D. doi : 10.1007/s00770-997-0014-8 . S2CID 123078833.
^ "Преобразование вибрации в трансляцию" . Получено 21.01.2013 .