Трибромсилан
 | |||
| |||
| Имена | |||
|---|---|---|---|
| Название ИЮПАК Трибромсилан | |||
| Другие имена Силикобромоформ; Триброммоносилан | |||
| Идентификаторы | |||
| |||
3D модель ( JSmol ) |
| ||
| ChemSpider |
| ||
| Информационная карта ECHA | 100.029.250 | ||
CID PubChem |
| ||
| УНИИ |
| ||
Панель инструментов CompTox ( EPA ) |
| ||
| |||
| |||
| Характеристики | |||
| Br3HSi | |||
| Молярная масса | 268,805 г·моль −1 | ||
Если не указано иное, данные приведены для материалов в стандартном состоянии (при 25 °C [77 °F], 100 кПа). | |||
Трибромсилан — химическое соединение с формулой HBr 3 Si. [1] При высоких температурах он разлагается с образованием кремния и является альтернативой очищенному трихлорсилану сверхчистого кремния в полупроводниковой промышленности.
Процесс Шумахера для осаждения кремния использует газ трибромсилан для производства поликремния , но он имеет ряд преимуществ по стоимости и безопасности по сравнению с процессом Сименса для производства поликремния. [2]
Его можно получить путем нагревания кристаллического кремния с газообразным бромистым водородом при высокой температуре. [3] Он самопроизвольно воспламеняется при контакте с воздухом. [4]
Ссылки
- ^ PubChem. "Трибромсилан". pubchem.ncbi.nlm.nih.gov . Получено 22.12.2022 .
- ^ Процесс Шумахера
- ^ Schumb WC, Young RC (апрель 1930 г.). «Исследование реакции бромистого водорода с кремнием». Журнал Американского химического общества . 52 (4): 1464–1469. doi :10.1021/ja01367a025.
- ^ Schumb WC (декабрь 1942 г.). «Галогениды и оксигалогениды кремния». Chemical Reviews . 31 (3): 587–595. doi :10.1021/cr60100a004.
 | Эта статья о неорганических соединениях является заглушкой . Вы можете помочь Википедии, расширив ее. |
