Оборудование для подготовки проб

Оборудование для подготовки образцов относится к оборудованию, используемому для подготовки физических образцов для последующей микроскопии или смежных дисциплин, включая анализ отказов и контроль качества . Оборудование включает в себя следующие типы машин:

• Прецизионные поперечные пилы
• Прецизионные шлифовальные и полировальные станки
• Системы подготовки выбранной области
• Оборудование для декапсуляции (с использованием механических, химических/кислотных, лазерных и плазменных методов)
• Системы сфокусированного ионного пучка (FIB)
• Системы антибликового покрытия
• Оборудование для ямочного тиснения
• Оборудование для напыления
• Системы испарения углерода и металла

Каждый из этих типов систем включает в себя множество аксессуаров и расходных материалов, которые подходят для конкретной системы для определенного применения.

• Статья из журнала MATERIALS WORLD, в которой обсуждаются различные дисциплины подготовки образцов, позволяющие проводить анализ отказов электронных материалов и компонентов.
• Статья с веб-сайта ULTRA TEC, в которой обсуждается подготовка образца с обратной стороны корпусированного электронного устройства, позволяющая проводить анализ с обратной стороны (через кремний)
• Статья, в которой обсуждается применение оборудования для струйного травления.