Роджер Т. Хау
американский инженер-электрик
Роджер Т. Хау
Рожденный1957
Сакраменто, Калифорния , США
Национальностьамериканский
Альма-матерКолледж Харви Мадда
Калифорнийский университет, Беркли
ИзвестныйМЭМС; наноразмерные устройства; технология изготовления
НаградыЧлен Национальной инженерной академии
Научная карьера
ПоляЭлектротехника
УчрежденияСтэнфордский университет
ТезисИнтегрированный электромеханический датчик пара, 1984 г.
научный руководительРичард С. Мюллер (Калифорнийский университет в Беркли)

Роджер Томас Хоу (родился в 1957 году в Сакраменто, Калифорния ) — профессор электротехники имени Уильяма Э. Айера в  Стэнфордском университете . Он получил степень бакалавра наук по физике в колледже Харви Мадда ( Клермонт, Калифорния ), а также степени магистра и доктора наук по электротехнике в  Калифорнийском университете в Беркли  в 1981 и 1984 годах соответственно. Он был преподавателем в Университете Карнеги-Меллона с 1984 по 1985 год, в  Массачусетском технологическом институте  с 1985 по 1987 год и в Калифорнийском университете в Беркли с 1987 по 2005 год, где он был почетным профессором имени Роберта С. Пеппера. Он является преподавателем Школы инженерии в Стэнфорде с 2005 года.

Его исследовательские интересы - проектирование и изготовление микро- и наноэлектромеханических систем (M/NEMS). Он и его научный руководитель Ричард С. Мюллер из Беркли разработали технологию микрообработки поверхности поликремния. [1] [2]  Этот процесс открыл возможности микромеханических элементов, таких как кантилеверы, резонаторы и шестерни. В настоящее время он используется для производства миллиардов инерционных датчиков [3] [4] , [5] микрофонов , [6] и устройств синхронизации. [7] Технология микрообработки поликремния все еще разрабатывается для достижения более высоких характеристик датчиков . [8] Вместе со своим аспирантом Уильямом С. Тангом он стал соавтором электростатического гребенчатого привода, [9] [10] который является ключевым строительным блоком для микродатчиков и приводов. Совместно со своим бывшим коллегой Цу-Дже Кинг Лю и их студентами была разработана технология микрообработки низкотемпературного поликристаллического кремния-германия, которая может быть изготовлена ​​после стандартной КМОП-электроники. [11] После прихода в Стэнфорд он внес вклад в разработку термоионных устройств преобразования энергии [12] и электронных биомолекулярных датчиков широкого спектра действия. [13]

В 1996 году он был избран членом IEEE за «основополагающий вклад в технологии микропроизводства, устройства и микроэлектромеханические системы». Вместе с Ричардом С. Мюллером он стал соавтором премии IEEE Cledo Brunetti Award 1998 года. В 2005 году он был избран в Национальную инженерную академию США : «за вклад в разработку микроэлектромеханических систем в процессах, устройствах и системах». В 2015 году он и Ю-Чонг Тай стали соавторами премии Роберта Боша за микро- и наноэлектромеханические системы от IEEE Electron Devices Society. В 2015 году он также стал лауреатом премии IEEE Electron Devices Society в области образования «за вклад в наставничество и образование в области микроэлектромеханических систем и нанотехнологий». Он был соавтором учебника по электронике «Микроэлектроника: комплексный подход» совместно с Чарльзом Г. Содини из Массачусетского технологического института. [14]

С 2011 по 2015 год он был директором Национальной сети инфраструктуры нанотехнологий США (NNIN), а с 2009 по 2017 год он занимал должность директора факультета Стэнфордского нанотехнологического центра (SNF). [15]

Он стал соучредителем двух компаний, основанных на исследованиях его группы. Silicon Clocks, Inc. была основана в 2004 году и была приобретена Silicon Labs, Inc. в 2010 году. ProbiusDx, Inc. была основана в декабре 2015 года для коммерциализации электронного биомолекулярного датчика широкого спектра. [16]

Ссылки

  1. ^ RT Howe и RS Muller, «Микромеханические балки из поликристаллического кремния», Весеннее заседание Электрохимического общества, т. 82-1, Монреаль, Квебек, Канада, 9–14 мая 1982 г., стр. 184-185.
  2. ^ RT Howe и RS Muller, «Поликристаллические кремниевые микромеханические балки», Журнал Электрохимического Общества, 130, стр. 1420-1423, (1983)
  3. ^ http://www.analog.com/media/en/technical-documentation/data-sheets/ADXL335.pdf (дата обращения: 12 октября 2018 г.)
  4. ^ https://www.bosch-mobility-solutions.com/en/products-and-services/industry-elements-and-components/mems-sensors/ (дата обращения: 12 октября 2018 г.)
  5. ^ https://www.st.com/content/st_com/en/about/innovation---technology/mems.html (дата обращения: 12 октября 2018 г.)
  6. ^ «МЭМС-микрофоны SiSonic™ для поверхностного монтажа».
  7. ^ Дж. Классен и др., «Процесс усовершенствованной поверхностной микрообработки — первый шаг к 3D MEMS», Конференция IEEE MEMS, Лас-Вегас, Невада, США, стр. 314–318, 22–26 января 2017 г.
  8. ^ Э. Нг и др., «Долгий путь от резонаторов МЭМС до устройств синхронизации», Конференция IEEE MEMS, Эшторил, Португалия, стр. 1-2, 18-22 января 2015 г.
  9. ^ WC Tang и RT Howe, «Резонансные микроструктуры с латеральным приводом», патент США 5,025,346, 18 июня 1991 г.
  10. ^ WC Tang, T.-CH Nguyen и RT Howe, «Резонансные микроструктуры из поликремния с латеральным возбуждением», Sensors and Actuators, 20, стр. 25-32 (1989).
  11. ^ AE Franke, JM Heck, T. King Liu и RT Howe, «Поликристаллические кремний-германиевые пленки для интегрированных микросистем», J. Microelectromechanical Systems, 12, стр. 160-171, (2003).
  12. ^ Дж.-Х. Ли и др., «Микроизготовленный термоизолированный излучатель с низкой рабочей функцией», J. Microelectromechanical Systems, 23, стр. 1182-1187 (2014).
  13. ^ C. Gupta и др., «Квантовые туннельные токи в наноинженерной электрохимической системе», Журнал физической химии C, 121, стр. 15085–15105 (2017).
  14. ^ RT Howe и CG Sodini, Микроэлектроника: комплексный подход, Prentice Hall, 1997
  15. ^ https://cap.stanford.edu/profiles/viewCV?facultyId=10500&name=Roger_Howe [ пустой URL-адрес в формате PDF ]
  16. ^ https://cap.stanford.edu/profiles/viewCV?facultyId=10500&name=Roger_Howe [ пустой URL-адрес в формате PDF ]
  • Роджер Хау, Стэнфордский университет
  • Google Scholar, Роджер Т. Хоу
Взято с "https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=Роджер_Т._Хау&oldid=1244029280"