Микрооптомеханические системы

Микросистемы, использующие оптические и механические, но не электронные компоненты.

Микрооптомеханические системы ( МОМС ), также называемые микрооптомеханическими системами , представляют собой особый класс микроэлектромеханических систем (МЭМС), которые используют оптические и механические, но не электронные компоненты. ^[1]

Смотрите также

Микрооптоэлектромеханические системы (МОЭМС)
Наноэлектромеханические системы (НЭМС)

Ссылки

^ Драгоман, Д (2001). «Микро/нано-оптоэлектромеханические системы». Progress in Quantum Electronics . 25 ( 5– 6): 229– 290. doi :10.1016/s0079-6727(01)00012-x . Получено 13 декабря 2024 г.

Эта статья, связанная с технологиями, является заглушкой . Вы можете помочь Википедии, расширив ее.

[1] Драгоман, Д (2001). «Микро/нано-оптоэлектромеханические системы». Progress in Quantum Electronics . 25 ( 5– 6): 229– 290. doi :10.1016/s0079-6727(01)00012-x . Получено 13 декабря 2024 г.