Журнал вакуумной науки и техники

*Журнал вакуумной науки и техники*
Дисциплина	Физика
Язык	Английский
Отредактировано	Эрай Айдыл
Подробности публикации
История	1964–настоящее время
Издатель	Американский институт физики от имени Американского вакуумного общества (США)
Частота	Раз в два месяца
Импакт-фактор	2.4 (Часть А ) ; 1.5 (Часть Б ) (2023)
Стандартные сокращения; ISO 4 (альтернативный вариант) · Bluebook (альтернативный вариант) ; NLM (альтернативный вариант) · MathSciNet (альтернативный вариант )
ИСО 4	Журнал Вак. Наук. Технол.
Индексация; CODEN (альт. · альт.2) · JSTOR (альт.) · LCCN (альт.) ; MIAR · NLM (альт.) · Scopus
	Журнал вакуумной науки и техники
ISSN	0022-5355;
	Журнал вакуумной науки и техники А
КОДЕН	JVTAD6
ISSN	0734-2101 (печатная версия) ; 1520-8559 (веб-версия);
LCCN	83643441
Номер OCLC	08697396
	Журнал вакуумной науки и техники B
КОДЕН	JVTBD9
ISSN	0734-211X;
LCCN	83642371
Номер OCLC	08697479
Ссылки
	Домашняя страница журнала; Часть А; Часть Б;

Академический журнал

Журнал «Вакуумная наука и технология» — рецензируемый научный журнал, издаваемый в двух частях, A и B , Американским институтом физики от имени Американского вакуумного общества . Он был основан в 1964 году, а главным редактором является Эрай Айдил ( Университет Миннесоты ).

История

1964–1982 Журнал вакуумной науки и техники
1983–настоящее время Журнал «Вакуумная наука и технология» A: Вакуум, поверхности и пленки
1983–1990 Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектронные процессы и явления
1991–настоящее время Журнал «Вакуумная наука и технологии» B: Микроэлектроника и нанометровые структуры

Часть A охватывает прикладную науку о поверхности , электронные материалы и обработку, технологию термоядерного синтеза, плазменную технологию, науку о поверхности , тонкие пленки , вакуумную металлургию и вакуумную технологию. Согласно отчетам Journal Citation Reports , журнал имеет импакт-фактор 2015 года 1,724. ^[1]

Часть B охватывает вакуумную и плазменную обработку различных материалов, их структурную характеристику, микролитографию , а также физику и химию субмикрометровых и нанометровых структур и устройств. Согласно отчетам Journal Citation Reports , журнал имеет импакт-фактор 2014 года 1,398. ^[2]

^ "Журнал вакуумной науки и технологии, часть A". 2015 Journal Citation Reports . Web of Science (Science ed.). Thomson Reuters . 2016.
^ "Журнал вакуумной науки и технологии, часть B". 2015 Journal Citation Reports . Web of Science (Science ed.). Thomson Reuters . 2016.

Эта статья об инженерном журнале — заглушка . Вы можете помочь Википедии, расширив ее.

Эта статья о журнале по материаловедению — заглушка . Вы можете помочь Википедии, расширив ее.