Дисциплина | Производство полупроводниковых приборов |
---|---|
Язык | Английский |
Отредактировано | Реха Узсой |
Подробности публикации | |
История | 1988–настоящее время |
Издатель | ИИЭЭ |
Частота | Ежеквартальный |
2.874 (2020) | |
Стандартные сокращения ISO 4 (альтернативный вариант) · Bluebook (альтернативный вариант) NLM (альтернативный вариант) · MathSciNet (альтернативный вариант ) | |
ИСО 4 | IEEE Trans. Semicond. Производ. |
Индексация CODEN (альт. · альт.2) · JSTOR (альт.) · LCCN (альт.) MIAR · NLM (альт.) · Scopus | |
ISSN | 0894-6507 (печатная версия) 1558-2345 (веб-версия) |
LCCN | 88659341 |
Номер OCLC | 16152423 |
Ссылки | |
|
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing — ежеквартальный рецензируемый научный журнал , издаваемый IEEE. Он охватывает исследования в области производства полупроводниковых приборов , включая имитацию и моделирование от завода до уровня детального процесса, контроль дефектов, анализ и оптимизацию выхода годных, планирование и составление графиков производства, экологические проблемы в производстве полупроводников и улучшение технологичности. Главный редактор — Реха Узсой ( Университет штата Северная Каролина ). Согласно отчетам Journal Citation Reports , импакт-фактор журнала за 2020 год составляет 2,874. [1]
Журнал является совместным изданием Общества по твердотельным схемам IEEE , Общества по компонентам, упаковке и производственным технологиям IEEE , Общества по электронным приборам IEEE и Общества по надежности IEEE .