Cornell NanoScale Science and Technology Facility (CNF) — это научный пользовательский объект и чистое помещение , расположенное в Корнелльском университете в Итаке, штат Нью-Йорк . CNF является одним из шестнадцати членов Национальной координируемой инфраструктуры нанотехнологий (NNCI).
CNF был запущен в рамках инициативы Национального научного фонда в 1977 году и впоследствии частично поддерживался несколькими другими программами NSF. [1] В настоящее время он получает около 20 миллионов долларов в год из федерального финансирования. [2] В 2004 году CNF переехал в свое нынешнее здание, Duffield Hall, получив 100 миллионов долларов поддержки от Корнелла. Теперь он включает 15 000 квадратных футов чистого помещения уровня 1000, а также в несколько раз больше лабораторных помещений, не относящихся к чистым помещениям. [3] В 2009 году NNIN получил 10 миллионов долларов в рамках Закона об американском восстановлении и реинвестировании . [4]
CNF — это общедоступный ресурс, и хотя многие пользователи из Корнелла или других близлежащих университетов, он также привлекает пользователей из широкого круга университетов и компаний по всему миру. [5] Ежегодно ресурсом пользуются около 700 ученых, половина из которых связана с Корнеллом. [6]
CNF используется для исследований в широком спектре областей, таких как MEMS , микрофлюидика , наномагнетизм и биоэлектроника . Он включает в себя инструменты для изготовления процессов, включая электронно-лучевую литографию , фотолитографию , химическое осаждение из паровой фазы , электронно-лучевое осаждение и реактивное ионное травление . Он также содержит характеристическое оборудование, включая сканирующие электронные микроскопы , эллипсометры и зондовые станции для электрических измерений.