Борофосфорно-силикатное стекло
Борофосфосиликатное стекло , обычно известное как BPSG , является типом силикатного стекла , которое включает добавки как бора , так и фосфора . Силикатные стекла, такие как PSG и борофосфосиликатное стекло, обычно используются в производстве полупроводниковых приборов для интерметаллических слоев, т. е. изолирующих слоев, нанесенных между последовательными более высокими металлическими или проводящими слоями.
BPSG был замешан в повышении восприимчивости устройства к мягким ошибкам , поскольку изотоп бора-10 хорошо улавливает тепловые нейтроны из космического излучения . [1] [2] Затем он подвергается делению, производя гамма-луч , альфа-частицу и ион лития . Эти продукты затем могут сбрасывать заряд в близлежащие структуры, вызывая потерю данных (переворачивание битов или сбой из-за единичного события ).
В критических конструкциях для предотвращения этого эффекта в качестве меры радиационной стойкости используется обедненный бор, состоящий почти полностью из бора-11 . Бор-11 является побочным продуктом ядерной промышленности .
Ссылки
- ^ Зависимость сбоя, вызванного нейтронным однократным событием, от напряжения смещения для КМОП-памяти SRAM с BPSG
- ^ Точный и всеобъемлющий симулятор программных ошибок Y. Tosaka, S. Satoh и H. Oka - Fujitsu Laboratories
